0371-86531637
产品型号：
0371-86531637
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真空室 |
二个D型真空室，尺寸均约为Ø450×H750mm; 两个真空室的真空系统配置、极限压力、恢复真空时间、热阻蒸发舟及电源、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置、样品台的配置与技术参数指标相同； |
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真空系统配置 |
日本进口低温泵、无油涡旋干泵与电磁、复合数显真空测量规与计、阀门等。 |
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极限压力 |
≤2.0×10-5Pa |
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恢复真空时间 |
40分钟可达到1×10-4Pa |
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电动磁力耦合样品传递装置 |
真空室1 |
采用磁力耦合line motion传递装置，采用步进电机驱动，设有远程手控控制盒，可控制直线前进后退。 |
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有机蒸发源及电源 |
真空室1 |
新型0EL升华型蒸发源9支，每支蒸料可装10CC，室温-800℃7支，室温-1000℃2支；蒸发源电源4台。 |
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真空室2 |
新型0EL升华型蒸发源6支，每支蒸料可装10CC，室温-800℃6支；蒸发源电源3台。 |
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热阻蒸发舟及电源 |
新型蒸发舟2组（热阻蒸发舟）； 数字式热阻蒸发电源1台，带有细调功能（0.1安培）；镀铝专用盒式蒸发舟：2个； 普通金属蒸发舟10个；蒸发源挡板2套； |
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膜厚监测仪 |
厚度分辨率 |
不平均：0.0133埃/测量；50个样品平均：0.002埃/测量 |
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速率分辨率 |
不平均：0.0133埃/秒；50个样品平均：0.02埃/秒 |
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精度 |
0.03HZ/测量，2ppm |
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速度 |
每秒测量十次 |
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真空室照明装置 |
采用LED外照明方式.避免镀膜污染照明灯 |
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烘烤装置 |
在真空室外烘烤带的烘烤方式 |
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样品台 |
样品尺寸 |
可放置一块100×100mm或者50×50mm基片 |
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运动方式 |
可电动上下升降，可旋转，转速为0-30转/分，转速可调 |
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